半导体晶圆搬运设备中,微型压缩弹簧常用于机械臂末端的晶圆吸盘,通过精准弹力控制吸附力度,避免晶圆(尤其是超薄晶圆)因压力过大破损或吸附不稳偏移,保障搬运过程的安全性与稳定性;
光刻设备的精密传动机构里,碟形弹簧可消除部件间隙,提升运动精度,确保光刻镜头与晶圆的相对位置误差控制在微米级,为芯片光刻图案的精细度提供支撑;
半导体封装测试设备中,探针卡的接触弹簧能维持探针与芯片引脚的稳定接触压力,保障电信号传输顺畅,确保测试数据准确,同时避免探针过度磨损,延长使用寿命;
半导体制造中的高温工艺设备(如薄膜沉积设备),耐高温合金弹簧用于密封门的压紧机构,在高温环境下仍能保持稳定弹力,确保设备内部真空或惰性气体环境的密封性,避免工艺受外界干扰。